真空回火炉由主机、真空系统、冷风系统、充气系统、气动系统、电气控制系统和炉外运输车等组成。主要适用于真空淬火和光亮淬火后回火处理以及低温退火和时效处理等工艺。

由于回火过程中残余硬力或组织变化，即拉应力消除，压应力消除，导致收缩和膨胀，包括回火初期析出的E碳化物的部分收缩，碳铁熔凝过程中的大量收缩，残余奥氏体铁膨胀成疏松铁，残余奥氏体铁膨胀成球墨铸铁等。，导致工件回火后变形。

防止回火炉引起工件变形的方法: (1)进行压力回火处理； (2)采用热浴或空气淬火降低残余应力； (3)采用机械加工方法进行矫正； (4)预留变形等方法。