真空钎焊炉的主要结构；

　　真空钎焊炉主机为卧式单室加热结构，由炉体、加热室、真空系统、空气冷却系统、充气系统、分压系统、水冷系统和电气控制系统组成。

　　1.真空炉主体

　　真空炉的主体由炉体和加热室组成。炉壳、炉门、电机罩的外壳均由双层筒体、双层椭圆形封头和法兰通过气密焊缝焊接而成。双层筒体之间设有水道，内部连通冷却水。炉盖采用锁环锁紧结构。加热室设计为圆柱形，隔热罩由框架和石墨毡组成。

　　2.加热力系统

　　加热力系统包括加热力电源、温度控制系统和加热力元件。加，热电源选用磁调压器，调压由DC励磁控制，根据不同的控制信号实现闭环自动控制，DC励磁电源由双向晶闸管控制。

　　温控仪表具有自整定功能。热电偶将电炉内部的温度转换成电信号，将检测到的炉温电流值与设定值的差值作为PID运算后的输出信号，控制三端双向可控硅开关的导通角，从而有效控制加发热元件的平均加热功率，使炉温与设定的加热曲线一致。

　　使用18根石墨管作为加热元件，它们通过三角形连接，并沿热区的圆周均匀分布，以提供良好的炉温均匀性。加加热元件通过三个水冷电极与外部接线相连。

　　3.真空系统

　　机组主泵为KT-500扩散泵，前置泵为ZJ-600 型罗茨泵和2X-70旋片机械泵。它们配有高真空阀、主路阀、旁路阀和与机械泵相连的电磁差压阀。机械泵是一个粗糙的真空装置，机械泵的后一级连接一个罗茨泵，罗茨泵的抽真空率较高，所以真空系统可以抽到更高的真空度。但只有当泵系统中的压力达到罗茨泵，允许的入口压力时，罗茨泵才能开始工作，否则会因过载和过热而损坏。扩散泵是一种高真空装置，它将真空系统中的气体分子扩散到高速油蒸汽射流中，并通过前一个泵将其排入空气中，完成抽吸动作。

　　4.空气冷却系统

　　真空炉主体后部装有三相异步电动机。气体经换热器冷却后，通过导流罩、进气口和叶轮，经隔热门进入炉内工作区，然后返回散热器进行循环冷却。

　　5.水冷系统

　　水冷系统由不锈钢截止阀、进水口、放水箱、水压接触压力表等组成。进水口配有一个63.5毫米(5英寸)的不锈钢球阀，出水口配有一个101.6毫米(4英寸)的法兰，只需连接用户的循环水系统接口。

　　6.分压系统

　　分压系统由电磁真空充气阀和可调针阀组成。铜钎焊过程中需要控制分压时，可以充入高纯氮气或氩气，分压范围控制在5~500Pa。

　　7.充气系统

　　充气系统由大直径充气截止阀、集气母线、真空电接触压力表等组成。

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